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三靶磁控濺射鍍膜儀
TN-600-3HD三靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研制開發(fā)的一款性價(jià)比較高的磁控濺射鍍膜儀，可用于制備單層或多層鐵電薄膜...
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單靶磁控濺射鍍膜儀
本單靶磁控濺射鍍膜儀配有一套磁控靶、一套300W的RF濺射電源(或一套500W的直流濺射電源或一套100W的偏壓電源）。...
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